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HSTビルトインガイドウェイリニアアクチュエータ
このシリーズは、完全に囲まれた、小さく、軽量で高剛性の特徴を備えたネジ駆動型です。このステージには、粒子が出入りするのを防ぐために、ステンレス鋼のカバーストリップを備えたモーター駆動のボールクルーモジュールが含まれています。
このシリーズは、完全に囲まれた、小さく、軽量で高剛性の特徴を備えたネジ駆動型です。このステージには、粒子が出入りするのを防ぐために、ステンレス鋼のカバーストリップを備えたモーター駆動のボールクルーモジュールが含まれています。