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HST 内蔵ガイドウェイリニアアクチュエータ
このシリーズはスクリュー駆動式で、完全密閉型、小型、軽量、高剛性を特徴としています。このステージには、モーター駆動のボールねじモジュールが内蔵されており、パーティクルの侵入や排出を防ぐステンレス鋼製のカバーストリップが装備されています。
このシリーズはスクリュー駆動式で、完全密閉型、小型、軽量、高剛性を特徴としています。このステージには、モーター駆動のボールねじモジュールが内蔵されており、パーティクルの侵入や排出を防ぐステンレス鋼製のカバーストリップが装備されています。