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HSTビルトインガイドウェイリニアアクチュエータ
このシリーズはネジ駆動で、全閉、小型、軽量、高剛性が特徴です。このステージには、粒子の出入りを防ぐステンレス鋼のカバー ストリップを備えたモーター駆動のボール クルー モジュールが含まれています。
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KGX 高剛性リニアアクチュエータ
このシリーズはスクリュー駆動で、小型・軽量・高剛性が特徴です。このステージには、粒子の出入りを防ぐステンレス鋼カバー ストリップを備えたモーター駆動のボールねじモジュールが含まれています。