このシリーズは、ネジ駆動型で、小さく、軽量で高剛性の特徴です。このステージには、粒子が入り込んだり出るのを防ぐために、ステンレス鋼のカバーストリップを備えたモーター駆動型のボールスクリューモジュールが含まれています。